प्लाज्मा एचिंग मशीन संरचना

आईसीपी उपकरण मुख्य रूप सं चारि भाग सं मिलयत छै: पूर्व-वैक्यूम कक्ष, एचिंग कक्ष, गैस आपूर्ति प्रणाली आ वैक्यूम प्रणाली.

(1) पूर्व-वैक्यूम कक्ष

पूर्व-वैक्यूम कक्ष कें कार्य इ सुनिश्चित करनाय छै की एचिंग कक्ष कें एकटा निर्धारित वैक्यूम स्तर पर बनाएल गेल छै, बाहरी वातावरण (जैना धूल, जलवाष्प) सं प्रभावित नै छै, आ साफ कमरा सं खतरनाक गैस कें अलग करय छै. एकरा मे एकटा आवरण, एकटा मैनिपुलेटर, एकटा संचरण तंत्र, एकटा आइसोलेशन दरवाजा आदि होयत छै.

(2) एचिंग कक्ष

एचिंग चैम्बर आईसीपी एचिंग उपकरण कें मूल संरचना छै. एकरऽ सीधा प्रभाव एचिंग दर, एचिंग केरऽ ऊर्ध्वाधरता, आरू खुरदरापन प॑ पड़ै छै । एचिंग कक्ष के मुख्य घटक छै: ऊपरी इलेक्ट्रोड, आईसीपी रेडियो आवृत्ति इकाई, आरएफ रेडियो आवृत्ति इकाई, निचला इलेक्ट्रोड प्रणाली, तापमान नियंत्रण प्रणाली, आदि.

(3) गैस आपूर्ति प्रणाली

गैस आपूर्ति प्रणाली एचिंग कक्ष मे विभिन्न एचिंग गैस पहुंचाबय कें छै, आ दबाव नियंत्रक (पीसी) आ मास प्रवाह नियंत्रक (एमएफसी) कें माध्यम सं गैस प्रवाह दर आ प्रवाह कें सही ढंग सं नियंत्रित करनाय छै. गैस आपूर्ति प्रणाली मे गैस स्रोत कें बोतल, गैस वितरण पाइपलाइन, नियंत्रण प्रणाली, मिश्रण इकाई आदि शामिल छै.

(4) वैक्यूम प्रणाली
दू टा वैक्यूम प्रणाली छै, एकटा पूर्व-वैक्यूम कक्ष के लेल आ दोसर एचिंग कक्ष के लेल. पूर्व-वैक्यूम कक्ष क॑ यांत्रिक पंप द्वारा खाली करलऽ जाय छै । जखन पूर्व-वैक्यूम कक्ष मे वैक्यूम स्तर निर्धारित मान पर पहुंच जायत तखनहि अलगाव दरवाजा खोलल जा सकैत अछि जाहि सं वेफर कें स्थानांतरण कैल जा सकय. एचिंग कक्ष म॑ वैक्यूम यांत्रिक पंप आरू आणविक पंप द्वारा उपलब्ध कराय देलऽ जाय छै । एचिंग कक्ष म॑ प्रतिक्रिया स॑ उत्पन्न गैस क॑ भी वैक्यूम सिस्टम द्वारा खाली करलऽ जाय छै ।