प्लाज्मा एचर सिद्धांत

आगमनात्मक रूप स॑ युग्मित प्लाज्मा एच (ICPE) रासायनिक आरू भौतिक प्रक्रिया के संयोजन के परिणाम छै । एकरऽ मूल सिद्धांत ई छै कि, वैक्यूम आरू कम दबाव के तहत, आईसीपी आरएफ पावर सप्लाई द्वारा उत्पन्न रेडियो आवृत्ति क॑ टोरोइडल कपलिंग कॉइल म॑ आउटपुट करलऽ जाय छै । एक निश्चित अनुपात म॑ मिश्रित एचिंग गैस क॑ ग्लो डिस्चार्ज स॑ जोड़लऽ जाय छै, जेकरा स॑ उच्च-घनत्व वाला प्लाज्मा पैदा होय छै । निचला इलेक्ट्रोड प॑ आरएफ के प्रभाव म॑ ई प्लाज्मा सब्सट्रेट केरऽ सतह प॑ बमबारी करी क॑ सब्सट्रेट केरऽ पैटर्न वाला क्षेत्र म॑ अर्धचालक सामग्री केरऽ रासायनिक बंधन क॑ तोड़ी दै छै । ई वाष्पशील पदार्थ एचिंग गैस के साथ प्रतिक्रिया करी क॑ वाष्पशील यौगिक बनाबै छै, जेकरा बाद म॑ सब्सट्रेट स॑ गैस के रूप म॑ अलग होय जाय छै आरू वैक्यूम लाइन स॑ बाहर पंप करलऽ जाय छै ।