अर्धचालक अनुप्रयोगों के लिये आरएफ प्लाज्मा उपकरण

पूछताछ भेजें

उत्पाद विवरण

अर्धचालक अनुप्रयोगक कें लेल आरएफ प्लाज्मा उपकरण एकटा विशेष सफाई इकाई छै जे उन्नत अर्धचालक पैकेजिंग आ सतह उपचार प्रक्रियाक कें लेल डिजाइन कैल गेल छै. उपकरण म॑ उच्च-ग्रेड स्टील स॑ बनलऽ एगो मजबूत कैबिनेट के विशेषता छै, जेकरा सफेद रंग म॑ शिकन-बनावट पाउडर कोटिंग स॑ समाप्त करलऽ गेलऽ छै, जे स्थायित्व आरू साफ औद्योगिक रूप दूनू प्रदान करै छै । एकरऽ मुख्य वैक्यूम कक्ष उच्च-शुद्धता वाला एल्यूमीनियम प्लेटऽ स॑ बनलऽ छै जेकरऽ मोटाई 25 मिमी स॑ कम नै छै, जेकरा स॑ उत्कृष्ट सीलिंग प्रदर्शन आरू दीर्घ-कालिक संरचनात्मक स्थिरता सुनिश्चित होय छै । आंतरिक कक्ष केरऽ आयाम 450 × 450 × 450 मिमी छै, जे 410 × 430 मिमी केरऽ पूर्ण रूप स॑ बंद एक- टुकड़ा इलेक्ट्रोड प्लेट स॑ लैस छै । काम कें टोकरी कें सीधा इलेक्ट्रोड प्लेट पर राखल जायत छै, जे एकटा प्लग-इन डिजाइन कें माध्यम सं तांबा इलेक्ट्रोड आधार सं जुड़य छै, जे संचालन कें दौरान कुशल आ स्थिर प्लाज्मा उत्पादन कें गारंटी देयत छै.

सिस्टम कें नियंत्रण पीएलसी प्लेटफॉर्म सं कैल जायत छै, जे मैनुअल आ पूर्ण रूप सं स्वचालित मोड कें बीच निर्बाध स्विचिंग कें अनुमति देयत छै. सबटा ऑपरेटिंग पैरामीटर कें वास्तविक समय मे कॉन्फ़िगर, समायोजित, संग्रहीत आ निगरानी कैल जा सकय छै. एकीकृत पीआईडी नियंत्रण लूप स्थिरता आ परिशुद्धता कें आ बेसि बढ़ावा देयत छै. जरूरत कें अनुसार अनेक प्रक्रिया नुस्खाक कें सेव आ रिकॉल कैल जा सकय छै, जे विशेष रूप सं ओय वातावरणक कें लेल उपयोगी छै जइ मे अक्सर प्रक्रिया मे बदलाव कें आवश्यकता होयत छै. वैक्यूम प्रणाली क॑ सूखा पंप सेट द्वारा संचालित करलऽ जाय छै, जे तेज पम्पिंग गति प्रदान करै छै, जेकरा म॑ कक्ष आम तौर प॑ १०० सेकंड के भीतर आवश्यक वैक्यूम स्तर प॑ पहुँची जाय छै ।

RF Plasma Equipment inside for Semiconductor Applications

प्रमुख तकनीकी विनिर्देशक मे 13.56 मेगाहर्ट्ज कें प्लाज्मा आवृत्ति शामिल छै, जइ मे आरएफ बिजली 0 सं 600 डब्ल्यू तइक लगातार समायोज्य छै.मुख्य बिजली आपूर्ति 380 वी एसी (±10%), 50/60 हर्ट्ज, तीन-फेज पांच-तार प्रणाली पर रेट कैल गेल छै, आ कुल उपकरण बिजली खपत 3 किलोवाट सं कम छै. गैस प्रवाह कें 0 सं 200 मिलीलीटर/मिनट कें बीच सटीक रूप सं नियंत्रित कैल जा सकय छै, ताकि प्रक्रिया कें आवश्यकताक कें एकटा विस्तृत श्रृंखला कें समर्थन कैल जा सकय.

अनुप्रयोग के मामला म॑ ई उपकरण अर्धचालक पैकेजिंग म॑ महत्वपूर्ण भूमिका निभाबै छै, खास करी क॑ तार बंधन (W/B) स॑ पहल॑ । प्लाज्मा सफाई प्रभावी ढंग सं चिप पैड सं जैविक अवशेषक कें हटायत छै, सतह कें सक्रिय करयत छै, आ गीलापन मे सुधार करयत छै. एकरऽ परिणामस्वरूप, बंधन तार केरऽ आसंजन बढ़ी जाय छै, बंधन केरऽ ताकत बढ़ी जाय छै, आरू अलग होय के खतरा काफी कम होय जाय छै । सिस्टम बहुपरत प्रसंस्करण आ कैसेट-शैली लोडिंग दूनू कें समर्थन करयत छै, जे निर्माताक कें अलग-अलग उत्पादन पैमाना आ आवश्यकताक कें अनुसार उपकरण कें अनुकूलित करय कें अनुमति देयत छै.

अपनऽ मजबूत कक्ष डिजाइन, परिशुद्धता नियंत्रण, आरू लचीला प्रक्रिया क्षमता के साथ, ई आरएफ प्लाज्मा उपकरण अर्धचालक निर्माण म॑ उच्च-गुणवत्ता वाला, दोहराबै योग्य सतह उपचार परिणाम प्राप्त करै लेली एगो विश्वसनीय आरू कुशल समाधान प्रदान करै छै.

हॉट टैग 2019।: अर्धचालक अनुप्रयोगों के लिए आरएफ प्लाज्मा उपकरण, चीन अर्धचालक अनुप्रयोगों के लिए आरएफ प्लाज्मा उपकरण निर्माताओं, कारखाने |